eternal carbon

eternal carbonとは

直流プラズマCVDで成膜できるタイル状の画期的なDLC

従来のDLC（被膜）が抱えていた課題

柔軟な素材に不適合

  • 素材の変形によって被膜が容易に剥離してしまう
  • 素材の変形によって被膜に亀裂（マイクロクラック）が入ってしまう

絶縁素材に不適合

  • プラズマ環境下では絶縁体の表面に静電気がたまり、極微量の被膜しか成膜できない
  • 成膜する前に熱によって素材が変形してしまう

膨張する素材に不適合

  • 膨張率の小さいDLCが素材の膨張についていけないため容易に剥離してしまう
  • 無理矢理膨張すると、ＤＬＣ（被膜）に亀裂（マイクロクラック）が入ってしまう

素材別の線膨張係数の表

ECは課題を解決した

  • 柔軟な素材になじむ
  • 変形する部分、素材に柔軟に対応できる構造になっている

  • 絶縁素材に被膜できる
  • 今までにない画期的な成膜方法で、絶縁体に成膜できる

  • 膨張する素材に適応する
  • 素材の膨張率に合わせて広がる構造になっている

従来のDLCとの共通の特徴

  1. ※1 連続膜では、どのDLCもガスを遮断しますが、ECではある特定の成膜方法を用いるときのみ可能となります。
  2. ※2 膜圧によって遠過度が変わります。

両マークは私たちが責任を持って品質を保証するロゴマークです。

２００８年１０月７〜9日米国ミシガン州 ノースウエスタン大学で行われた日米合同機械学会で選考されました。