生産仕様 （お客様の様々な成膜対象部材に適合した装置をデザインします）
| S | M | L | LL | SS-DLC-2 | ||
| 真空チャンバー形状 | 角型 | 円筒型 | 円筒型 | 角型 | 角型 | |
| 真空チャンバーサイズ(mm) | 300X300X300 | 550ØX600H | 750ØX1200H | ex. 1500X1200X1500 （2基搭載可） | ex. 1500X1200X1500 （2基搭載可） |
|
| パルスピーク電力 | 10kWp | 30kWp | 60kWp | 60kWp～ | 60kWp～ | |
| 生産技術仕様 | 量産向き | 量産向き | ||||
| 真空ポンプ種別*1 | TMP+RP | TMP+DP+RP ポンプ切替（OP） | TMP+DP+RP+メカブ ポンプ切替（OP） | TMP+DP+RP+メカブ ポンプ切替（OP） | ||
| 制御系 | 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 | |
| 導入ガス系統 | 標準6系統*2 ＋2系統追加可 (最大8系統) | 標準6系統*2 ＋2系統追加可 (最大8系統) | 標準6系統*2 ＋2系統追加可 (最大8系統) | 8系統＋α | 8系統＋α | |
| 特別仕様 | ・微細粒子トラップ電源 ・余剰電子収集電源 ・重畳用直流電源 ・逆極性電源(スクリーニング) |
|||||
| 外観写真 | 写真1 | 写真2 | ||||
TMP：ターボ分子ポンプ、RP：ロータリーポンプ、DP：拡散ポンプ、メカブ：メカニカル・ブースター・ポンプ
標準ガス【6種】： Ar、TMS、C2H2、H2、O2、N2