1
直流パルス
直流パルス
プラズマ法
高分子材料、金属材料の双方に
成膜可能です。
2
パーティクルと
パーティクルと
余剰電子をトラップ
バッチ毎のDLC膜の特性を
一定に保ちます。
3
基礎プログラムを
基礎プログラムを
提供
DLC成膜のノウハウをプログラム
として提供します。
4
全自動運転が
全自動運転が
可能
成膜・クリーニングプロセスを搭載。